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日本新宇宙半导体材料气体检测仪

简要描述:

日本新宇宙半导体材料气体检测仪,应用行业:半导体制造 检测方式:自动吸引式 检测原理 热线型半导体式

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日本新宇宙半导体材料气体检测仪

特点

●  小型·轻量

●  可以检查非常微量的气体泄漏

●  *适合氢气相关设备的保安

●  搭载的泵有自动停止功能

●  搭载[自动气体排气模式]功能

●  保护等级约为IP22(JIS C  0920)※安装皮套时

 

 

02.产品用途

●  半导体工厂/石油化学工厂等

●  在使用半导体材料气体/毒性气体的现场进行泄漏检测

 

日本新宇宙半导体材料气体检测仪

产品参数

型号

XP-703DⅢ

检测对象气体

H2、AsH3、B2H6、SiH4、PH3

检测原理

**型半导体式

采集方式

自动吸引式

可检测泄漏量

H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7

可检测浓度

H2 :5.07×10-7、AsH3 :2.53×10-7、B2H6、1.01×10-7SiH4、2.53×10-7 、PH3:1.52×10-7

反应时间

10秒以内

显示方式

液晶数字(手动背景灯)

电源(额定)

5号碱性干电池(LR6)  2节

电池使用时间※1

约12小时(5号碱性干电池、25℃时)

保护等级※2

相当于IP22※3

使用压力范围

大气压(800~1100kpa)

使用温湿度范围

0~40℃/85%RH以下(但不能结露)

外形尺寸

W38×H130×D32㎜(突出部分除外)

重量

约190g(包括电池、皮套)

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