X荧光元素分析仪的原理主要基于：原子受到X射线的作用，其内层电子被激发，形成空穴，原子处于不稳定的激发态。为了回到稳态，原子的外层电子会跃迁回内层，多余的能量以荧光形式释放出来，被侦测器检测到，通过此来做分析。通常，可以将X射线荧光光谱分析仪可分为波长色散性和能量色散性。

X荧光元素分析仪的共元素干扰情况：

    在日常的分析工作中，XRF这种分析方法经常会出现共元素干扰。这种共元素干扰的问题主要起源于X荧光射线侦测器对于X荧光射线的分辨率的限制所致，只要是XRF都会遭遇到相同的问题。共元素干扰主要分为三类：两相近共元素干扰、加乘波峰、逃离波峰。

    （1）两相近共元素干扰：由于两元素在能谱图上的位置相近，以至于侦测器无法分别出两者之间的差距。如铅(La10.55Kev)、砷(Ka10.54Kev)。

    （2）加乘波峰：由于某元素的浓度异常高，此时发出大量X荧光射线，而侦测器无法及时处理，将在能谱两倍的位置上出现一根波峰。如大量的铁(Ka6.4Kev)，会在能谱12.8Kev处出一根小波峰。造成误判。但此种情形极为少见。

    （3）逃离波峰：由于某元素的浓度异常高，此时发出大量X荧光射线，而侦测器无法及时处理，将在此元素的能谱位 置前一个硅Ka的能谱距离多出一根小波峰而造成误判，但情形极少出现。如锡(Ka25.27Kev)-硅(Ka1.74Kev)=23.53Kev≈镉(Ka23.17 Kev)。